深圳清华大学研究院光机电一体化实验室成立于1999年10月，并于2002年12月被评为深圳市重点实验室。实验室是以光机电一体化为主要研究领域，一多学科交*融合创新为特点，推动共性技术发展，服务于广大高科技企业，建设良性循环的非营利性公共技术研发平台。实验室目前的重点研究领域有传感器及智能仪表技术、红外测温技术、机电整合技术以及超高频RFID技术及其应用示范等。实验室成立至今，承担了包括国家863、973、科技支持计划、国家自然科学基金重点项目、面上项目、深圳市科技计划项目等多类科技任务，获得国家及市级发明奖多项。实验室培养了多名博士后、博士及硕士，发表论文60余篇。
   实验室拥有先进的研发装备，高素质、跨学科、朝气蓬勃、经验丰富的固定研发队伍，并承担硕士、博士研究生论文阶段和博士后进站人员的培养。 本实验室已取得专利 30多项，其中发明和国际专利9项。人体成份监测仪系列产品等一批高科技产品已由合作企业推向国际市场，为企业创造了超过25亿元人民币的经济效益。在短短几年中，获得国家发明二等奖和国家科技进步奖各一项，广东省科技进步特等奖一项，深圳市科技进步奖二项。
　　实验室目前的科研重点领域在LED制造及测试装备、传感器技术及其应用、医疗仪器技术、UHF RFID技术及其应用示范、机电整合技术等方面，着重从人力、设备、经费、管理等资源向其中重点支持。
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