微米/纳米加工技术国家重点实验室及北京大学微电子学研究院简介

目前该实验室包括微电子净化工艺实验室面积为900m²，拥有各种先进的工艺加工及检测设备130余台套，可加工CMOS集成电路、超高速硅双极集成电路、微电子机械系统、CMOS/SOI集成电路和化合物半导体器件等；系统芯片(SOC)软硬件协同设计实验室、多目标芯片设计实验室和计算机辅助工程(CAE)实验室的面积1000m²，拥有进行逻辑综合、电路模拟、电路设计、版图设计以及器件和工艺模拟等方面研究的最新软件。

北京大学微电子学研究院的研究方向主要有三个，即ULSI新器件及集成技术、系统集成芯片(SOC)设计及其设计方法学、微电子机械系统(MEMS)技术。这三个研究方向均是当前国际微电子学学科发展的重点领域。

在ULSI器件及其集成技术研究方面，作为首席科学家单位主持了“系统芯片中新器件新工艺的基础研究”的973课题，另外还承担了30余项国家重大科技攻关、863、国家自然科学基金、国际合作等科研项目，已经形成了自己的特色。研究的重点领域包括ULSI器件模型模拟、亚100纳米ULSI新结构器件、微小尺度MOS器件可靠性等。

在系统集成芯片(SOC)设计及其设计方法学研究方面，具有软件、硬件和体系结构紧密结合，器件物理和电路理论紧密结合的学术优势，并且已经在软硬件协同设计、IP设计方面形成了自己的特色。主要的研究领域包括：面向微处理器的IP设计技术、多目标圆片服务体系、系列专用集成电路设计及其开发等。

在微电子机械系统(MEMS)技术研究方面，同时开展了MEMS工艺、器件以及MEMS EDA等方面的研究，具体的包括：体硅/表面牺牲层工艺等多种MEMS制造技术和成套工艺、微加速度计/微陀螺/可集成的光开关阵列/RF MEMS器件/生物MEMS器件等MEMS器件、MEMS EDA技术等。